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｜ 2022-06-30 ｜科谱半导体（天津）有限公司｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜制造业                  ｜
｜ 2022-06-30 ｜NFX Systems Inc.          ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜技术服务                ｜
｜ 2022-06-30 ｜上海砺致科技有限公司      ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜制造业                  ｜
｜ 2022-06-30 ｜上海至纯精密气体有限公司  ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜工程建设                ｜
｜ 2022-06-30 ｜上海至纯精密制造有限公司  ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜制造业                  ｜
｜ 2022-06-30 ｜上海至纯半导体设备有限公司｜子公司      ｜       -｜   42.9768万｜           -｜制造业                  ｜
｜ 2022-06-30 ｜KEDINTERNATIONALCORPORATIO｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜制造业                  ｜
｜            ｜N                         ｜            ｜        ｜            ｜            ｜                        ｜
｜ 2022-06-30 ｜凯尔迪科技股份有限公司    ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜制造业                  ｜
｜ 2022-06-30 ｜台湾至微半导体有限公司    ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜制造业                  ｜
｜ 2022-06-30 ｜武汉瑞芯科技有限责任公司  ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜制造业                  ｜
｜ 2022-06-30 ｜浙江合波光学科技有限公司  ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜制造业                  ｜
｜ 2022-06-30 ｜BandweaverTechnologyLimite｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜通信业                  ｜
｜            ｜d                         ｜            ｜        ｜            ｜            ｜                        ｜
｜ 2022-06-30 ｜合波光电通信科技有限公司  ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜制造业                  ｜
｜ 2022-06-30 ｜北京中电鸿宇科技有限公司  ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜软件业                  ｜
｜ 2022-06-30 ｜安徽波汇智能科技有限公司  ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜通信业                  ｜
｜ 2022-06-30 ｜山西波汇信息技术有限公司  ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜通信业                  ｜
｜ 2022-06-30 ｜无锡波汇光电科技有限公司  ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜制造业                  ｜
｜ 2022-06-30 ｜上海波汇信息科技有限公司  ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜科学研究和技术服务业    ｜
｜ 2022-06-30 ｜青岛浦芮斯光电技术有限公司｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜制造业                  ｜
｜ 2022-06-30 ｜香港波汇通信科技有限公司  ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜通信业                  ｜
｜            ｜（BandweaverLimited）     ｜            ｜        ｜            ｜            ｜                        ｜
｜ 2022-06-30 ｜上海波汇软件有限公司      ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜软件业                  ｜
｜ 2022-06-30 ｜广州市浩鑫洁净工程技术有限｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜制造业                  ｜
｜            ｜公司                      ｜            ｜        ｜            ｜            ｜                        ｜
｜ 2022-06-30 ｜平湖波汇通信科技有限公司  ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜制造业                  ｜
｜ 2022-06-30 ｜上海紫珊光电技术有限公司  ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜制造业                  ｜
｜ 2022-06-30 ｜启东市中恒建机电工程有限公｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜机电安装                ｜
｜            ｜司                        ｜            ｜        ｜            ｜            ｜                        ｜
｜ 2022-06-30 ｜至纯株式会社              ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜电子设备的研发、设计、安｜
｜            ｜                          ｜            ｜        ｜            ｜            ｜装及维护                ｜
｜ 2022-06-30 ｜合肥至微微电子有限公司    ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜技术研发、技术咨询、技术｜
｜            ｜                          ｜            ｜        ｜            ｜            ｜转让、商品及技术的进出口｜
｜ 2022-06-30 ｜合肥至微半导体有限公司    ｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜技术开发、技术咨询、技术｜
｜            ｜                          ｜            ｜        ｜            ｜            ｜服务、技术转让、商品及技｜
｜            ｜                          ｜            ｜        ｜            ｜            ｜术的进出口              ｜
｜ 2022-06-30 ｜江苏启微半导体设备有限公司｜子公司      ｜       -｜           -｜           -｜设备生产销售            ｜
｜ 2022-06-30 ｜西藏禹泽投资管理有限公司  ｜联营企业    ｜       -｜  591.3754万｜  520.0231万｜-                       ｜
｜ 2022-06-30 ｜贵州威顿晶磷电子材料股份有｜联营企业    ｜       -｜ 7239.0347万｜ 7994.5954万｜-                       ｜
｜            ｜限公司                    ｜            ｜        ｜            ｜            ｜                        ｜
｜ 2022-06-30 ｜天津海河至汇光电创业投资合｜联营企业    ｜       -｜      3000万｜ 2975.1547万｜-                       ｜
｜            ｜伙企业（有限合伙）        ｜            ｜        ｜            ｜            ｜                        ｜
｜ 2022-06-30 ｜合肥溯慈企业管理合伙企业（｜联营企业    ｜       -｜  3093.103万｜ 5093.8996万｜-                       ｜
｜            ｜有限合伙）                ｜            ｜        ｜            ｜            ｜                        ｜
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【1.投资者互动】
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｜2022-12-20｜请问公司是否还在刻蚀，沉积或者其他领域有技术储备？                                              ｜投资者问｜
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｜2022-12-20｜您好，每一工序段都需要用到很多不同种类的设备，公司可为客户提供28NM全工序段湿法设备，炉管与涂胶显｜公司答复｜
｜          ｜影设备正处于少量出货及验证阶段。                                                                ｜        ｜
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｜2022-12-20｜您好，请问公司推出的涂胶显影设备适用于多少纳米打制程设备？                                      ｜投资者问｜
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｜2022-12-20｜您好，公司8寸涂胶显影设备正在验证中，可用于成熟制程。                                           ｜公司答复｜
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｜2022-12-16｜公司清洗设备距离100%国产化的目标还需要多久？                                                    ｜投资者问｜
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｜2022-12-19｜您好，公司已能覆盖28纳米各工序段的湿法设备。从成熟半导体市场的经验来看，国内与国际供应商会同时存｜公司答复｜
｜          ｜在，我们会努力不断提高国内供应商的市占率。                                                      ｜        ｜
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｜2022-12-16｜公司定增完成后预计多久能推出新的涂胶显影设备呢？                                                ｜投资者问｜
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｜2022-12-19｜您好，公司8寸涂胶显影设备正在验证中。                                                           ｜公司答复｜
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｜2022-12-15｜公司是否掌握了超临界二氧化碳干燥技术？                                                          ｜投资者问｜
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｜2022-12-15｜您好，公司暂时没有此项技术，公司一直关注清洗领域各个技术路线的发展情况及各种干燥技术。公司将持续｜公司答复｜
｜          ｜投入资源开发符合进一步发展所需的工艺设备。目前公司主要为集成电路行业下游客户提供制程设备、集成系｜        ｜